1碱金属元素
石英粉中的碱金属元素主要包括锂(Li)、钠(Na)、钾(K)元素。这些元素在石英中易扩散，化学性活泼，比较容易去除，但是它们危害很大。
碱金属元素在高温下起着助溶剂的作用，使高温玻璃出现失透，高温变形等不良现象，对析晶起着催化作用，影响石英制品的热稳定性，还会影响石英玻璃的光学特性与热学特性，降低半导体寿命，石英玻璃的介电系数和介电损失都会增大，而石英制品光的传播速度和机械强度又都会降低。
2过渡金属元素
石英粉中掺杂的过渡金属元素主要有铁(Fe)、锌(Zn)、铜(Cu)、铬(Cr)、锰(Mn)、镍(Ni)等元素。
微量的元素溶入硅熔体就能阻止导电性，对仪器的预见性和可靠性都起着负面作用，对石英制品客观的影响就是产生色斑，或者引起高温变色，降低光透过率。
3硼元素
硼元素(B)在石英产品的含量与石英矿的地质有直接的关系，B离子可以进入硅酸盐分子的骨架，产生很强的化学键，而不是仅在含硼矿一物中。
B元素的超标对单晶硅的拉制有致命的影响，1×10-6的B就可以使单晶硅的电阻大幅度降低。
4铝元素
铝元素(Al)在石英矿中主要存在于长石、粘土及云母等杂质矿物中，是石英产品中含量最多的的杂质元素，Al可以进入Si-O四面体结构骨架中，将硅取代，形成Al-O结构，Al3+取代Si4+后，为了平衡电荷，就会引入碱金属元素甚至过渡金属元素来补偿电荷，而进入Si-O骨架的Al将不易除去。
Al对半导体的影响不大，但是对于电光源用的石英玻璃有很大影响，由于Al在一定条件下会导致石英制品有色，对光谱通过率有影响，进而影响光效。
5非金属元素
石英粉中的非金属元素主要由氧(O)、氢(H)、氮(N)等元素。氧的主体是SiO2，其他则以H2O、O2的形式存在。SiO2中的Si-O键断裂会产生缺陷，这些缺陷会与OH或者H结合形成SiH或者SiOH基团，羟基是一种杂质缺陷，同时又是一种网络结构缺陷。
羟基对石英及石英玻璃的性能都有很大影响，首先，羟基的存在降低了石英的化学稳定性。其次，羟基使石英结构的疏松度增加，密度减小，结合力下降，声音在石英玻璃中的传播速度也将减小。羟基还能降低石英的粘度，低温时羟基的存在会使粘度降低的更明显。
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