波长色散型X射线荧光光谱仪(WD-XRF)，是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。
能谱色散型X荧光光谱仪(ED-XRF)，用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线(荧光)直接进入半导体探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析。
由于普通能量色散X荧光采用低功率X射线管，又采用滤光片扣除背景和干扰，其背景偏高，分辨率偏小，使得应用范围受到限制，特别是在轻元素的分析受到限制。随之X射线偏振器的诞生，产生了一款新型的能量色散X荧光光谱仪，既偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF，再加上SDD探测器的使用，不仅提高了(相对使用正比计数管和Si(PIN)探测器的仪器)的分辨率，免去Si(Li)探测器使用液氮冷却的繁琐和危险，填补了原来普通能量色散X荧光的轻元素检出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相对波长色散X荧光用户)购买和使用X荧光仪器的成本大大减低，这使得偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF在分析领域的迅猛发展，越来越受到广泛关注。
WD-XRF与ED-XRF的简明比较
| 项目 | 偏振式能量色散X荧光 | 波长色散型X荧光 | 普通能量色散型X荧光 |
| 原理 | X荧光经次级偏振靶使X射线产生偏振（提高信噪比）后，进入检测器，经电子学系统处理得到不同元素（不同能量）的X荧光能谱 | X荧光经晶体分光，在不同衍射角测量不同元素的特征线 | X荧光直接进入检测器，经电子学系统处理得到不同元素（不同能量）的X荧光能谱 |
| 结构 | 无扫描机构，只用一个检测器和多道脉冲分析器，结构简单得多，无转动件，可靠性高 | 为满足全波段需要，配置多块晶体，根据单道扫描和多道同时测定的需要，设置扫描机构和若干固定通道 | 无扫描机构，只用一个检测器和多道脉冲分析器，结构简单得多，无转动件，可靠性高 |
| X光管 | 功率低，不需冷却水，X光管寿命长 | 高功率，要高容量冷却系统，X光管寿命短 | 功率低，不需冷却水，X光管寿命长 |
| 检测器 | SDD | 正比计数器，和λ、晶体、检测器有关 | Si(pin) |
| 灵敏度 | ug/g级 | Ug/g级 | 轻基体ug/g级，其它10～102ug/g级 |
| 准确度 | 取决于标样 | 取决于标样 | 取决于标样 |
| 精密度 | 好 | 很好 | 低浓度时不如WD |
| 系统稳定性 | 好，工作曲线可长时间使用 | 需作周期性漂移校正，定期作工作曲线 | 好，工作曲线可长时间使用 |
| 方便性 | 好 | 一般 | 好 |
| 分析速度 | 快 | 单道慢，多道快 | 快 |
| 人员要求 | 一般 | 较高 | 一般 |
| 样品表面 | 要求不高 | 要求平坦 | 要求不高 |
| 价格 | ￥60～100万/台 | ￥120～250万/台（其中单道￥120～180万/台） | ￥30～70万/台 |
| 测定元素范围 | 11Na～92U | 5B～92U | 11Na～92U |
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